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半导体OHT无线供电
无接触无粉尘 守护晶圆良率
动态持续供电 · 轨道免维护 · 适配AMHS系统 · 国产替代
半导体半导体
半导体行业无线供电解决方案 | 晶圆厂自动化设备 | 中技之星 CTPS
半导体制造,是人类工业精度的代表领域之一。
在纳米级制程下,一粒微小的粉尘就可能导致整个晶圆报废,损失巨大。对洁净度的严苛追求,是半导体行业的核心要求。
而传统接触式供电的磨损粉尘,与半导体行业的超净要求存在根本矛盾。中技之星 CTPS 无线供电系统,为晶圆厂提供高洁净、高可靠的自动化设备供电方案。

行业痛点:超净车间的供电挑战
痛点 具体影响 洁净度风险 接触部件磨损产生微米级粉尘,直接影响芯片良率,损失巨大 设备稳定性 供电故障导致设备停机,晶圆报废,单次损失可观 维护成本高 洁净车间内维护成本高,停机损失大,维护难度大 安全隐患 电火花可能引发洁净车间安全事故,风险不可控 中技之星解决方案:超高洁净,高可靠
中技之星 CTPS 无线供电系统,为半导体晶圆厂提供高洁净、高可靠的自动化设备供电方案。非接触设计,无接触性粉尘产生,满足半导体行业严苛的洁净要求。
覆盖主要设备类型:
晶圆传输 AGV/OHT
晶圆盒自动搬运系统
洁净车间物流设备
自动化检测设备
核心应用场景
1. 晶圆制造车间
晶圆在各工序设备间自动传输,OHT 天车动态无线供电,全程无接触,适配高等级超净车间。
2. 封装测试工厂
芯片封装、测试环节自动化搬运,AGV 定点无线充电,柔性运行,低维护成本,高设备稳定性。
3. 自动化仓储系统
晶圆盒、成品芯片自动存取,STK 堆垛机无线供电,无人化仓储,支持 24 小时连续运行。
技术优势:四大核心能力
超高洁净度:无接触无磨损,无接触性粉尘产生,满足半导体行业严苛的洁净要求
高可靠性:非接触供电,无接触不良问题,设备稳定性提升约 40%,减少意外停机
低维护成本:无易损件,维护周期长,维护成本降低约 20%,降低洁净车间维护频次
安全无接触火花:无裸露电极,无接触电火花风险,提升半导体厂区生产安全性
中技之星实力背书
国产替代,自主可控:国内领先技术,打破国外垄断,供应链安全有保障
50 + 项专利技术:发明专利 14 项,核心技术自主知识产权
权威认证:CE-EMC、CE 电气安全、ISO9001:2015、SEMI F47(半导体设备标准)
本地化服务:安徽合肥生产基地,快速响应,备件有保障
推荐产品
产品系列 功率范围 适用场景 CTPS 动态无线供电系统 2kW/2.5kW/5kW/6kW/10kW/20kW/30kW OHT 晶圆传输动态供电 CTPS 静态无线供电系统 5kW AGV 定点充电 ECO 节能单元 定制化 能耗优化与智能调控 客户价值
良率保障:减少接触性粉尘污染,降低芯片报废风险,保护投资
稳定运行:设备稳定性提升约 40%,减少停机损失,提升产能
成本优化:维护成本降低约 20%,降低运营成本
安全合规:符合半导体行业洁净与安全标准,通过 SEMI F47 认证
半导体制造,容不得一粒接触性粉尘。中技之星无线供电,为您的晶圆厂保驾护航。
咨询热线:185-0023-9240 | 邮箱:jinjunfeng@cts-et.com
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